《 リークチェック 》 銀ロウ付け、ハンダ付けした部分に微細な穴が残っていると真空が保てません。リーク(漏れ)をチェックし、 見つかった場合にはリークが完全に無くなるまでロウ付けの補修を行います。 |
Oリングを装着し、真空グリスを塗ってから真空引き口にはめ込む |
リークディテクターにセットする |
※真空引き口の開閉のしくみは下図の通り |
内管にヘリウムガスを流し内管接続部分にリークがないかチェックする |
外管の接合部分ににヘリウムガスを微量吹き付けてリークがないかチェックする |