《 真空引き 》
外管と内管の間の空間を真空ポンプを使って真空にします。
拡散ポンプ(ディフュージョン)にセットする
※真空引き口の開閉のしくみは下図の通り
ロータリーポンプで粗引きする
約 2.0×10
-2
mbar 以下まで引く
拡散ポンプで本引きする
約 1.0×10
-6
mbar ぐらいまで引く